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发明名称 EVACUATOR
摘要
申请公布号 JPH04363127(A) 申请公布日期 1992.12.16
申请号 JP19910166466 申请日期 1991.06.10
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IWATA TERUO;ISHII NOBUO
分类号 B01J3/00;B01J3/02;H01L21/265 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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