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经营范围
发明名称
INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04364054(A)
申请公布日期
1992.12.16
申请号
JP19910139005
申请日期
1991.06.11
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NUMAZAWA SADAHIRO
分类号
G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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