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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH04364057(A) 申请公布日期 1992.12.16
申请号 JP19910165069 申请日期 1991.06.10
申请人 SONY CORP 发明人 YAMANAKA HIDEO;HOZUMI HIROKI
分类号 H01L21/68;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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