发明名称 CHARGED PARTICLE ENERGY ANALYZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04359857(A) 申请公布日期 1992.12.14
申请号 JP19910134310 申请日期 1991.06.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA MAKOTO
分类号 H01J37/252;H01J49/48 主分类号 H01J37/252
代理机构 代理人
主权项
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