| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN FILM OF TANTALUM OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04358073(A) |
申请公布日期 |
1992.12.11 |
| 申请号 |
JP19910132733 |
申请日期 |
1991.06.04 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SHIBUYA MUNEHIRO;KITAGAWA MASATOSHI;KAMATA TAKESHI;HIRAO TAKASHI |
| 分类号 |
C01G35/00;C23C16/46;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
C01G35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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