发明名称 HIGH PURITY METALLIC MATERIAL, MANUFACTURE THEREOF, SPUTTERING TARGET USING SAME, AND WIRING NETWORK AND SEMICONDUCTIVE PACKAGE FORMED BY USING SAME
摘要
申请公布号 JPH04358030(A) 申请公布日期 1992.12.11
申请号 JP19910018949 申请日期 1991.02.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIGAMI TAKASHI;KAWAI MITSUO;OBATA MINORU;SATO MICHIO;YAMANOBE TAKASHI;MAKI TOSHIHIRO;ANDO SHIGERU;YAGI NORIAKI
分类号 C22B34/12;C22C1/00;C22C1/02;C22C14/00;C23C14/34 主分类号 C22B34/12
代理机构 代理人
主权项
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