| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET AND ELECTRIC CIRCUIT INCLUDING THIS TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04354866(A) |
申请公布日期 |
1992.12.09 |
| 申请号 |
JP19910127100 |
申请日期 |
1991.05.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KENMOCHI AKIHIRO;YAGI KUNIHIRO;ISHINO MASAKAZU;NARIZUKA YASUNORI |
| 分类号 |
C22C27/06;C22C29/06;C22C29/12;C23C14/34 |
主分类号 |
C22C27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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