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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04354867(A) 申请公布日期 1992.12.09
申请号 JP19910129064 申请日期 1991.05.31
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 KAJI TETSUNORI;FUJII TAKASHI;KIKKAI MOTOHIKO;KAWASAKI YOSHINAO;SAIKAI MASAHARU
分类号 C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C30B25/02;C30B25/08;H01J37/32;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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