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发明名称 METHOD OF FORMING COPPER WIRING
摘要
申请公布号 JPH04354133(A) 申请公布日期 1992.12.08
申请号 JP19910129150 申请日期 1991.05.31
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 H01L21/203;C23C8/06;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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