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发明名称 MASK FOR CONTACT PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 RU1547556(C) 申请公布日期 1992.12.07
申请号 SU19884382932 申请日期 1988.02.25
申请人 BELYKH YU.G.,SU;MALAKHOV B.A.,SU 发明人 BELYKH YU.G.,SU;MALAKHOV B.A.,SU
分类号 G03F1/70 主分类号 G03F1/70
代理机构 代理人
主权项
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