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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04350166(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910124171 申请日期 1991.05.29
申请人 KUBOTA CORP 发明人 OKAMOTO SOENORI;MATSUMOTO MASUNORI
分类号 C23C14/24;C23C14/52 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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