| 发明名称 |
MANUFACTURE OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04349637(A) |
申请公布日期 |
1992.12.04 |
| 申请号 |
JP19910123387 |
申请日期 |
1991.05.28 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NOMOTO TSUTOMU;YOSHIDA MAMORU;WATANABE NOBUAKI;SHIYOU KAZUYUKI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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