发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS, WAFER TRANSFER ARM AND WAFER MOUNTING STAND
摘要
申请公布号 JPH04346247(A) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 JP19910118916 申请日期 1991.05.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI HISAYA
分类号 B23Q7/04;B25J9/06;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B23Q7/04
代理机构 代理人
主权项
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