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发明名称 MACROCELL FORMING METHOD IN SEMICUSTOM INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04345051(A) 申请公布日期 1992.12.01
申请号 JP19910117641 申请日期 1991.05.22
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 HARAGUCHI MASANORI;OGAWA KYOSUKE;OKADA YOSHINORI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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