| 发明名称 |
METHOD OF BONDING HYDROCARBON PERFLURIDE POLYMER FILM AND SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04343430(A) |
申请公布日期 |
1992.11.30 |
| 申请号 |
JP19920045573 |
申请日期 |
1992.03.03 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
TAO NOKU NUIEN;GOTSUTORIIBU SUTEFUAN OORAIN;JIIBU ABURAHAMU WAINBAAGU |
| 分类号 |
C23C16/00;B05D5/08;B05D7/24;C23C16/02;C23C16/30;G03F7/085;G03F7/11;H01L21/205;H01L21/312 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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