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发明名称 DEVICE FOR PLASMA-CHEMICAL TREATMENT OF ELECTRONIC-VACUUM INSTRUMENTS
摘要
申请公布号 RU1778817(C) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 SU19904796243 申请日期 1990.02.28
申请人 NOVOSIBIRSKY ELEKTROTECH INST 发明人 GELLER VLADIMIR M,SU;NEVEJKO SVETLANA A,SU;KHRUSTALEV VLADIMIR A,SU;KATAEV ANATOLIJ A,SU
分类号 H01J9/20 主分类号 H01J9/20
代理机构 代理人
主权项
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