发明名称 REFLEX ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04342943(A) 申请公布日期 1992.11.30
申请号 JP19910116286 申请日期 1991.05.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANAKA HIDEYUKI
分类号 H01J37/20;H01J37/29;H01L21/66 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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