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经营范围
发明名称
REFLEX ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH04342943(A)
申请公布日期
1992.11.30
申请号
JP19910116286
申请日期
1991.05.21
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
TANAKA HIDEYUKI
分类号
H01J37/20;H01J37/29;H01L21/66
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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