发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04337629(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910110068 申请日期 1991.05.15
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MATSUNAGA EMIKO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址
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