发明名称 PRODUCTION OF THIN OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH04338136(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910110498 申请日期 1991.05.15
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 DEKI SHIGETO
分类号 C03C17/25 主分类号 C03C17/25
代理机构 代理人
主权项
地址