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发明名称 Process for Fabricating Micromachines
摘要
申请公布号 CA2069227(A1) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 CA19922069227 申请日期 1992.05.25
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 UEKA, MINORU;IIYAMA, MICHITOMO
分类号 C04B41/53;C04B41/91;C23C16/40;G03F7/00;(IPC1-7):G03F7/00;H01L21/306;H01L21/311 主分类号 C04B41/53
代理机构 代理人
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