| 发明名称 |
HIGH-SPEED FILM FORMATION BY PLASMA AND RADICAL CVD METHOD UNDER HIGH PRESSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04337076(A) |
申请公布日期 |
1992.11.25 |
| 申请号 |
JP19910139750 |
申请日期 |
1991.05.14 |
| 申请人 |
YUUHA MIKAKUTOU SEIMITSU KOGAKU KENKYUSHO:KK;MORI YUZO |
发明人 |
MORI YUZO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/452;C23C16/511;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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