LOAD-LOCK UNIT AND WAFER TRANSFER SYSTEM,申请号EP19920105208-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	LOAD-LOCK UNIT AND WAFER TRANSFER SYSTEM
摘要
申请公布号	EP0506045(A3)	申请公布日期	1992.11.25
申请号	EP19920105208	申请日期	1992.03.26
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	OOSAWA, TETSU;ASAKAWA, TERUO;NEBUKA, KENJI;ONO, HIROO
分类号	B65G47/80;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	B65G47/80
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