| 发明名称 |
FABRICATION METHOD IN VERTICAL INTEGRATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5166091(A) |
申请公布日期 |
1992.11.24 |
| 申请号 |
US19910708970 |
申请日期 |
1991.05.31 |
| 申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
LIFSHITZ, NADIA;SCHUTZ, RONALD J. |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/822;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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