发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04332138(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910131864 申请日期 1991.05.07
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI NARIHITO
分类号 H01L21/363 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
主权项
地址