DEPOSITION METHOD FOR HIGH ASPECT RATIO FEATURES,申请号EP19900480132-传众专利搜索

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发明名称	DEPOSITION METHOD FOR HIGH ASPECT RATIO FEATURES
摘要
申请公布号	EP0435801(A3)	申请公布日期	1992.11.19
申请号	EP19900480132	申请日期	1990.09.04
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	BRAREN, BODIL ELISABETH;BROWN, KAREN HILL;PERRY, KATHLEEN ALICE;SRINIVASAN, RANGASWAMY;SUGERMAN, ALVIN
分类号	C23C14/28;H01L21/285;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320;H01L21/90	主分类号	C23C14/28
代理机构		代理人
主权项
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