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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04332121(A) 申请公布日期 1992.11.19
申请号 JP19910101082 申请日期 1991.05.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ODA MASAO;GOTO YOSHIYUKI;OSHIGE TOYOMI;IWASA TATSUYA;KINOSHITA YOSHIMI;KITANO KATSUHISA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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