多离子源强流注入机

摘要

一种多离子源强流离子注入装置，可以安装两个或两个以上金属蒸汽真空弧离子源或气体离子源，并以多工作模式进行注入，即产生至少一种元素的离子束，由人工或计算机控制，按一定的程序，改变离子束的能量、强度、注入时间和顺序，在工件表面一定的深度形成不同组分的合金或化合物，使工件表面性能，如耐磨、抗蚀、润滑等得到明显的改善。

主权项

1、一种离子注入装置，由离子源和靶室组成，其特征在于靶室四周同时安装了两个或两个以上的金属蒸汽真空弧离子源。