| 发明名称 |
FILM THICKNESS MEASURING METHOD OF EPITAXIALLY GROWN LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04330760(A) |
申请公布日期 |
1992.11.18 |
| 申请号 |
JP19910020002 |
申请日期 |
1991.02.13 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
GOTO SHUNSUKE;SOGA NOBORU |
| 分类号 |
C30B15/00;H01L21/205;H01L21/66 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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