发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH04325490(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910095184 申请日期 1991.04.25
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SHIBATA MASATOMO;INADA TOMOKI;SUZUKI TAKASHI
分类号 C30B27/02;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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