发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04324930(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910094631 申请日期 1991.04.25
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 YANASE SABURO
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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