发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04324652(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910122647 申请日期 1991.04.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 DOI SUMIO;MORI SHIGENORI;OKIHARA YOSHIHIKO
分类号 H01L21/66;H01L21/82 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址