发明名称 TARGET FOR SPUTTERING AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH04323366(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910115463 申请日期 1991.04.19
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 MITSUI AKIRA
分类号 C23C14/34;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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