发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04322448(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910118115 申请日期 1991.04.22
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI MIEKO
分类号 H01L21/306;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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