发明名称 PULLING UP SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04321583(A) 申请公布日期 1992.11.11
申请号 JP19910092445 申请日期 1991.04.23
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 INADA TOMOKI;SHIBATA MASATOMO
分类号 C30B15/00;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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