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发明名称
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
GB2221567(B)
申请公布日期
1992.11.11
申请号
GB19890016474
申请日期
1989.07.19
申请人
* HITACHI LTD
发明人
MITSUGU * SATO
分类号
H01J37/04;G01C5/04;H01J37/147;H01J37/28;H04N13/00
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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