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发明名称 POSITIONING MECHANISM FOR V-NOTCHED WAFER
摘要
申请公布号 JPH04320043(A) 申请公布日期 1992.11.10
申请号 JP19910114030 申请日期 1991.04.18
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 YANAI TOSHIAKI;WATANABE TETSUYA;NINOMIYA TAKAHIRO;HOSOE TAKURO
分类号 H01L21/66;H01L21/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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