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发明名称 METHOD FOR FORMING METALLIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04318171(A) 申请公布日期 1992.11.09
申请号 JP19910084316 申请日期 1991.04.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ARIKADO TSUNETOSHI
分类号 C23C16/18;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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