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经营范围
发明名称
MAGNETRON SPUTTERIONG METHOD
摘要
申请公布号
JPH04314858(A)
申请公布日期
1992.11.06
申请号
JP19910002338
申请日期
1991.01.11
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
OBINATA HISAHARU;TAKAISHI KOICHIRO
分类号
C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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