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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04313218(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19910079207 申请日期 1991.04.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKAMOTO YOSHIHIKO;TOMIKAWA MITSUHIRO
分类号 G05D7/06;H01L21/205 主分类号 G05D7/06
代理机构 代理人
主权项
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