发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04312954(A) 申请公布日期 1992.11.04
申请号 JP19910016234 申请日期 1991.02.07
申请人 NEC CORP 发明人 OIKAWA YOICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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