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发明名称 SPUTTERING TARGET FOR PRODUCING ELECTROCONDUCTIVE TRANSPARENT FILMS AND PROCESS FOR MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 US5160675(A) 申请公布日期 1992.11.03
申请号 US19890352473 申请日期 1989.05.16
申请人 TOSOH CORPORATION 发明人 IWAMOTO, TETSUSHI;YOSHIDA, YASUNOBU;FURUTO, TOSHIAKI;SUDO, KOICHI
分类号 C23C14/08;C23C14/34 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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