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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04311031(A) 申请公布日期 1992.11.02
申请号 JP19910076616 申请日期 1991.04.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIYATA HIROSHI;TSUKUNE ATSUHIRO;MIENO FUMITAKE
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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