发明名称 CHARGER PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY METHOD
摘要
申请公布号 JPH04309213(A) 申请公布日期 1992.10.30
申请号 JP19910073453 申请日期 1991.04.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HATTORI SEIJI;YOSHIKAWA RYOICHI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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