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发明名称 METHOD FOR FABRICATING INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP0497596(A3) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 EP19920300795 申请日期 1992.01.30
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. 发明人 LIOU, FU-TAI;WEI, CHE-CHIA
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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