Method of manufacturing a thermionic cathode element.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Glühkathodenelements aus einem mit Seltenerdoxid dotierten Refraktärmetall, wobei aus einem Substratkörper (2) zunächst mehrere Teilschichten des Glühkathodenelements nacheinander mittels eines CVD-Verfahrens abgeschieden werden. Die für die Weiterbearbeitung des Glühkathodenelements erforderliche Festigkeit wird dadurch verbessert, daß im Verlaufe des CVD-Verfahrens dekarburierende Zwischenbehandlungen durchgeführt werden, und daß das Glühkathodenelement durch eine Nachbehandlung karburiert wird. <IMAGE>