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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04304640(A) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 JP19910068265 申请日期 1991.04.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MINO TATSUJI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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