发明名称 MULTI-CHAMBER VACUUM TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04304372(A) 申请公布日期 1992.10.27
申请号 JP19910091428 申请日期 1991.03.29
申请人 NEC CORP 发明人 HIRAMATSU SHINICHI
分类号 C23C14/56;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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