| 发明名称 |
SHAPE MEASURING METHOD BY MEANS OF LASER MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04301508(A) |
申请公布日期 |
1992.10.26 |
| 申请号 |
JP19910066220 |
申请日期 |
1991.03.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
OZAWA KAZUMASA |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B9/04;G01M11/00;G02B21/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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