Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens
摘要
申请公布号
CH367269(A)
申请公布日期
1963.02.15
申请号
CH19590071641
申请日期
1959.04.07
申请人
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT FUER HOCHVAKUUMTECHNIK UND DUENNE SCHICHTEN
