发明名称 |
ROTARY APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04300675(A) |
申请公布日期 |
1992.10.23 |
申请号 |
JP19910091360 |
申请日期 |
1991.03.28 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HIMOTO MASAHIRO;ASAI MASAYA;SUGIMOTO KENJI;MORITO TOSHIYUKI |
分类号 |
B05C5/00;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
B05C5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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